微波等離子體爐（亦稱等離子體發生器或等離子體加熱系統）就是依據這一原理研制的專門設備。等離子體火炬通過電弧來產生高溫氣體，可在氧化、還原或惰性環境下工作，可以為氣化、裂解、反應、熔融和冶煉等各種功能的工業爐提供熱源。微波等離子體炬就是以微波為激發能量的開放式等離子體技術。

微波等離子體爐適用于新材料（包括薄膜，纖維，粉末以及高性能復合材料等）的制備，金屬制品的表面強化和防腐蝕，紡織品的后整理，高聚物聚合及其表面改性，微電子器件及高功率電子器件和光電子器件的制造，納米材料的制備和器件的開發，高效照明光源和紫外光源的開發，有毒有害氣體的分解凈化及其它三廢處理等多個工業技術領域。

微波等離子體管式爐適用于新材料（包括薄膜，纖維，粉末以及高性能復合材料等）的制備，金屬制品的表面強化和防腐蝕，紡織品的后整理，高聚物聚合及其表面改性，微電子器件及高功率電子器件和光電子器件的制造，納米材料的制備和器件的開發，高效照明光源和紫外光源的開發，有毒有害氣體的分解凈化及其它三廢處理等多個工業技術領域。